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日本三豐Surftest表面粗糙度測(cè)量?jī)x小知識(shí)
JIS B 0601:2013 (ISO 4287：1997) 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)-表面形狀：輪廓法–術(shù)語(yǔ)、定義及表面紋理參數(shù)
JIS B 0632:2001 (ISO 11526：1996) 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)-表面形狀：輪廓法–位相補(bǔ)償濾波器的特征
JIS B 0633:2001 (ISO 4288：1996) 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)-表面形狀：輪廓法–表面紋理的評(píng)價(jià)的規(guī)則和程序
JIS B 0651:2001 (ISO 3274：1996) 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)-表面形狀：輪廓法–接觸(測(cè)針式)測(cè)量?jī)x的標(biāo)稱(chēng)特性。
接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x的特征 JIS B 0651 : 2001 (ISO 3274 : 1996)
三豐粗糙度儀測(cè)量原理示意圖：
測(cè)針形狀
理想的測(cè)針形狀是圓錐型，為球形
半徑：rtip = 2 μm, 5 μm, 10 μm
圓錐角度：60º, 90º
在理想表面粗糙度測(cè)量中，除特別規(guī)定以外，每個(gè)圓
錐角的角度都是 60º
靜態(tài)測(cè)量力
測(cè)針平均位置的測(cè)力：0.75mN
測(cè)力的標(biāo)稱(chēng)變化率：0N/m
標(biāo)準(zhǔn)特性值：測(cè)針平均值的靜態(tài)測(cè)力
| 測(cè)針曲率 標(biāo)稱(chēng)半徑μm | 測(cè)針在平均位置 的靜態(tài)測(cè)量力 mN | 靜態(tài)測(cè)量力變化的 公差率 mN /μm |
| 2 | 0.75 | 0.035 |
| 5 | 0.75 (4.0)注1 | 0.2 |
| 10 |
注1 對(duì)于特殊結(jié)構(gòu)探測(cè)器 (包括一個(gè)可更換測(cè)頭)，在平均位置靜態(tài)測(cè)量力的大值為 4.0mN。
截止波長(zhǎng)值與測(cè)針半徑之間的關(guān)系
如下表所列，測(cè)針半徑rtip 的標(biāo)準(zhǔn)值與對(duì)應(yīng)于截止波長(zhǎng)
標(biāo)準(zhǔn)值的粗糙度截止波長(zhǎng)比率之間的關(guān)系
| λc (mm) | λs (μm) | λc/λs | 大rtip (μm) | 大取樣間隔 (μm) |
| 0.08 | 2.5 | 30 | 2 | 0.5 |
| 0.25 | 2.5 | 100 | 2 | 0.5 |
| 0.8 | 2.5 | 300 | 2注1 | 0.5 |
| 2.5 | 8 | 300 | 5注2 | 1.5 |
| 8 | 25 | 300 | 10注2 | 5 |
注1： 對(duì)于Ra>0.5μm或Rz>3μm的表面，通常可以使用rtip=5μm的測(cè)針，
在測(cè)量結(jié)果中沒(méi)有明顯差別。
注2： 當(dāng)截止波長(zhǎng)λs為2.5μm或8μm時(shí)，與推薦測(cè)針針尖半徑的測(cè)針(觸針)機(jī)械濾波所產(chǎn)生的衰減特性將位于定義的傳輸帶之外。因此，測(cè)針的半徑或者形狀上的微小誤差不會(huì)影響到測(cè)量中參數(shù)的計(jì)算。如果需要特殊的截止波長(zhǎng)比率，須。
